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HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng)
GR-511F 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。

產(chǎn)品型號:GR511F
更新時間:2024-11-05
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:265
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HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng)

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng)


通過使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

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